易純凈化,只為潔凈空間

高效 / 環保 / 節能

易純產品和潔凈室系統解決方案廣泛應用于電子工業、半導體制造業、航空航天、精密儀器儀表、醫療衛生、生物制藥、潔凈手術室、生物實驗室、食品保健、光纖光纜、科研教學等多個領域,在生物制藥、電子工業、潔凈手術室行業確定了領先地位。
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電子廠房凈化車間

關鍵字:電子廠房凈化車間 日期:2019/11/9 16:17:16

電子廠房凈化車間

    光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于領先地位。

 

光學微電子凈化工程一般包括:

1、 潔凈生產區

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


光學微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。

 

光學微電子凈化工程結構材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。

 

光學微電子凈化工程凈化參數

換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。


凈化等級說明:

1級 這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的精確要求為亞微米。

10級 這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。

100級 很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。

1000級 這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。

10000級 萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

100000級 十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間。

 

潔凈室(區)空氣潔凈級別表

潔凈度級別
塵粒最大允許數/立方米
≥0.5μm塵粒數
≥5μm塵粒數
微生物最大允許數
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100級
3,500
0
5
1
10,000級
350,000
2,000
100
3
100,000級
3,500,000
20,000
500
10
300,000級
10,500,000
60,000
1000
15

 

ISO14644-1(國際標準)

空氣潔凈
度等級(N)
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2




ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO Class7



352,000
83,200
2,930
ISO Class8



3,520,000
832,000
29,300
ISO Class9



35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平

 

潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級

空氣潔凈度等級[1](N)
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2




2
100
24
10
4


3
1000
237
102
35
8

4(十級)
10000
2370
1020
352
83

5(百級)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千級)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(萬級)



352000
83200
2930
8(十萬級)



3520000
832000
29300
9(一百萬級)



35200000
8320000
293000


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